真空測量是真空技術中的一個重要組成部分。用于測量真空度的儀器稱為真空計。  真空熱處理爐及真空熔煉爐常用的真空計有：熱偶真空計電離真空計等。它們的工作原理如下：真空感應爐

　　（一）熱偶真空計

　　熱偶真空計由敏感元件、熱偶規管和測量儀器組成。熱偶規管與被測真空系統相通，外殼為玻璃管，管內有加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時，由于溫差效應，在回路中有熱電勢產生。如加熱絲電壓保持恒定，則熱偶絲　　的電勢限決于加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強有關。壓強低，氣體熱導率小，被氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢增大；反之，則熱電勢減少。回路中的熱電勢用毫伏表測量，表中的毫伏數即反映出真空

　　度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩定，而接入了穩壓電源。所以測量儀器是由測量熱電勢的毫伏表和規管加熱絲穩壓電源兩部分組成。真空感應爐

　　（二）電離真空計

　　這種真空計主要用于測量高真空度。在低壓強氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數與氣體壓強成正比按照離產生的方法不同，利用熱陰極發射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其中，熱陰極電離真空計由熱陰極規管和測量儀器組成。測量儀器由規管工作電源、發射電流穩壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱陰極電離規管與被測真空系統相通。熱陰極電離規管是一個三極管，管內有陰極、柵及和收集極。收集極電位相對于陰極電負電位；柵極相對于陰極電正電位。當電離規管通電加熱后，陰極發射電子，在電子到達柵極的過程中，與氣體分子碰撞而產生正離子和電子的電離現象。當發射電流一定時，正離子數日與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集后，經測量電路放大，可由批示電表讀出所要測量的真空度。

　　（三）復合真空計

　　通常，對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而應采用復合真空計，應用較多的是電離與熱偶式復合真空計。它的測量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計測量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復合真空計附有一個熱偶規管、一個電離規管，分別接在真空系統上，通過旋鈕可分別給兩個規管加熱，并選擇使用。