如果真空爐在正常實驗中存在液體，則需要一個液體蒸發(fā)過程(在高真空下可以氣化，無需加熱)。這部分液體可以通過長時間拉動真空來氣化，從而達到高真空(等待穩(wěn)定性)。如果長時間達不到目標氣壓，就要考慮系統(tǒng)和羅茨泵。可以直接測量羅茨泵的極限真空(不接入其他系統(tǒng))。如果完好，就是系統(tǒng)的密封性能。
真空熱處理爐的水冷裝置、爐殼、爐蓋、電熱元件導別處理(水冷電極)、中間真空隔熱門和其他部件都在真空和加熱狀態(tài)下工作。在這種極其不利的條件下工作，必須保證每個部件的結構不變形不損壞，真空密封圈不過熱不燒壞。因此，水冷裝置應根據(jù)不同的情況設置在每個部件上，以確保真空熱處理爐的正常運行和足夠的使用壽命。
使用低電壓大電流:在真空容器中，當真空空度在幾個支架和一個lxlo-1支架的范圍內時，真空容器中的通電導體會在較高的電壓下產(chǎn)生閃光放電現(xiàn)象。在真空熱處理爐中，會嚴重產(chǎn)生弧光放電，燒毀電熱元件和隔熱層，造成重大事故和損失。因此，真空熱處理爐電熱元件的工作電壓一般不超過801100伏。同時，在設計電熱元件結構時，應采取有效措施。例如，盡量避免 部件，電極之間的距離不應太小或太窄，以防止閃光放電或弧光放電。
大多數(shù)加熱和隔熱材料只能在真空狀態(tài)下使用:真空熱處理爐的加熱和隔熱襯里在真空和高溫下工作，因此對這些材料提出了耐高溫、低蒸汽壓、良好的輻射效果和低導熱系數(shù)的要求。對抗氧化性能要求不高。因此，加熱和隔熱材料廣泛應用于真空熱處理爐中。這些材料在大氣中容易氧化，所以這些加熱和隔熱材料不能用于常規(guī)的熱處理爐。
嚴格的真空密封:眾所周知，金屬零件的真空熱處理都是在封閉的真空爐中進行的。因此，獲得和維持爐子原有的漏氣率，保證真空爐的工作真空度，對保證零件的真空熱處理質量具有重要意義。因此，真空熱處理爐的一個關鍵問題是要有可靠的真空密封結構。為了保證真空爐的真空性能，真空熱處理爐的結構設計必須遵循一個基本原則，即爐體應采用氣密焊接，爐體應盡量少開或不開孔，少使用或少使用動態(tài)密封結構，以減少動態(tài)密封結構。
自動化程度高:真空熱處理爐自動化程度高的原因是金屬工件的加熱、冷卻等操作需要十幾個甚至幾十個動作。這些動作在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近。同時，加熱保溫后，金屬工件必須在15秒內完成六個動作和淬火過程。在如此快速的條件下完成許多動作，很容易導致操作人員緊張，導致操作失誤。因此，只有高度的目動化才能準確、及時地按照程序進行動作協(xié)調。