真空爐爐內(nèi)的壓力可以提取成低于大氣壓力的工業(yè)爐。真空爐電加熱﹐加熱工件表面不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐良好的機械性能。用真空爐熔煉金屬有利于去除雜質(zhì)﹐成品針孔少﹐偏析小﹑質(zhì)量好。真空爐適用于高質(zhì)量﹑高純度﹑熔煉和加熱難熔金屬﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的冶煉和磁性材料﹐電工材料﹑高強鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。真空爐出現(xiàn)在20世紀30年代左右。1927年，美國制造了電氣材料真空退火爐。1953年，真空自耗電弧爐已用于工業(yè)熔煉海綿鈦。真空感應(yīng)爐在20世紀50年代左右的工業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用。1960年，美國開發(fā)了一種油淬真空爐。
真空爐一般由爐膛組成﹑電熱裝置﹑密封爐殼﹑真空系統(tǒng)﹑供電系統(tǒng)和溫度控制系統(tǒng)。密封爐殼由碳鋼或不銹鋼焊接而成。﹐可拆卸部件的接頭表面用真空密封材料密封。為防止爐殼加熱后變形和密封材料變質(zhì)﹐爐殼一般采用水冷或氣冷冷卻。爐子位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子的用途。﹐爐內(nèi)裝有不同類型的加熱元件﹐如電阻﹑感應(yīng)線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐內(nèi)裝有坩堝﹐有的還配備了自動澆注裝置和裝卸機械手。真空系統(tǒng)主要由真空泵組成﹑由真空閥和真空計組成。
20世紀50年代，無芯感應(yīng)爐發(fā)展迅速。后來，電子束爐出現(xiàn)了，用電子束沖擊固體燃料，可以加強表面加熱，熔化高熔點的材料。用于鍛造和加熱的爐Z是手工鍛造爐，其工作空間是一個填充煤的凹槽，燃燒的空氣由罐的下部供應(yīng)，工件埋在煤中加熱。該爐的熱效率很低，加熱質(zhì)量不好，只能加熱小工件，未來發(fā)展成耐火磚半封閉或全封閉爐，可以用煤、氣或油作為燃料，也可以用電作為熱源，工件在爐內(nèi)加熱。
為了方便加熱大型工件，出現(xiàn)了適合加熱鋼錠和大鋼坯的汽車爐，加熱長桿也出現(xiàn)了井爐。20世紀20年代以后，出現(xiàn)了各種機械化和自動化爐類型，可以提高爐的生產(chǎn)率，改善勞動條件。隨著燃料資源的發(fā)展和燃料轉(zhuǎn)換技術(shù)的進步，工業(yè)爐燃料逐步改為爐煤氣、城市煤氣、天然氣、柴油、燃料油等氣體和液體燃料，開發(fā)了各種適合所用燃料的燃燒裝置。