真空感應爐是生產特種鋼、精密合金、高溫合金和耐腐蝕合金的重要冶煉設備。不同容量的真空感應爐的冶煉基本工藝大致相似。整個冶煉的基本過程包括:裝載、熔化、精煉、合金化、鋼材澆注等。保持爐內真空貫穿整個冶煉過程。
1、裝料
真空感應爐的裝載方式分為熱裝置和冷裝置兩種。熱裝置法是將鋼水轉移到真空感應爐中，將鋼水轉移到真空感應爐中；冷裝置法是將固體爐材料直接裝入真空感應爐中。熱裝置法適用于真空感應爐5t以上，冷裝置法適用于真空感應爐5t以下。
2、熔化
對于冷裝料的真空感應爐，熔化期為目標。熱裝爐熔化操作由初熔爐承擔。
熔化期最基本的任務就是使爐料順利熔化，在此基礎上實現脫氫，去除雜質元素，脫碳脫氮有限。
熔化期大致可以分為三個階段:初始階段、中期階段和后期階段，每個階段的任務都是重點。掌握每個階段的要點，可以保證熔化期的各項任務順利實現。
3、精煉
精煉期的主要任務是提高鋼液的純度，為添加易氧化元素和微量有益元素創造條件。精煉期要實現的關鍵操作有:減少[C]、[O]、[N]含量；去除微量有害雜質；調整鋼材的化學成分等，為合金化期操作創造必要條件。
為達到精煉期的目的，必須選擇合理的精煉工藝參數，包括精煉溫度、真空度、保持時間、電磁攪拌強度等。
4、合金化
精煉期結束后，鋼液中[O]、[N]、[H]微有害元素含量降至更低 水平，冶煉轉向合金化階段。
合金化階段的主要任務是添加活性元素和微量有益元素，使其均勻化； 調節化學成分和鋼液溫度；調節爐內氬氣壓力，使其達到出鋼要求。
5、出鋼澆注
真空感應爐冶煉的鋼水，可澆注成三種產品：鋼錠、自耗電極和鑄造母合金。
6、爐體的破空
爐體的破空包括熔煉室、鑄錠室和加料室的破空。它是真空感應爐冶煉的最終工藝操作。